计算光刻

ASML业界领先的计算光刻产品能够实现精确的光刻模拟,有助于提高芯片的成品率和质量

bet365手机版开发了计算光刻技术作为bet365手机版ASML产品组合的一部分,以提供bet365手机版的客户在纳米级工作时所需的生产产量和性能.

 

没有计算光刻, 芯片制造商不可能制造出最新的技术节点.

规模越小,问题就越大

 

在光刻技术, 光的衍射以及感光层的物理和化学作用会使机器试图打印的图像变形(想象一下,这就像试图用宽水彩画刷画一条细细的线——它会在很多地方弄脏)。.

 

随着130纳米技术的引入, 处理这些变形对防止缺陷变得至关重要. 随着芯片制造商不断缩小图形以生产更小更强大的芯片, 问题和复杂性不断升级, 需要更加复杂的方法.

 

模型制造

计算光刻使用制造过程的算法模型, 校准的关键数据来自bet365手机版的机器和测试晶圆. 这些模型被用来优化掩模, 或者期望的最终结果的蓝图, 有意地使图案变形,以补偿在光刻和制版过程中发生的物理和化学效应. 最终的结果是:bet365手机版最终在晶圆上得到所需芯片图案的精确复制品.

47135 -光刻元素

计算能力

而其他人则着眼于芯片设计的“上游”, 阿斯麦着眼于下游的制造业,以区分bet365手机版的市场地位. 计算光刻技术不仅对世界半导体器件的持续扩展起着重要作用,而且对bet365手机版机器的性能不断提高也起着重要作用.

 

bet365手机版的计算光刻技术优化了扫描仪, 器件可制造性和良率的掩模和工艺, 无论是早期的设计和技术开发,还是后期的大批量生产.

超越摩尔定律

随着技术的进步和晶圆图样的缩小, bet365手机版的模型对精确度的要求越来越高. 今天,在大批量生产中,bet365手机版将特征成像到单纳米级别, 具有(对于简单的1D特征)亚纳米精度要求.

 

展望未来, 计算光刻技术将继续在提高bet365手机版机器的成像性能方面发挥不可或缺的作用, 让bet365手机版继续推动摩尔定律的发展.

整体印刷

bet365手机版正在将计算能力从光刻技术扩展到光学计量和电子束检测, 以及机器学习应用. bet365手机版继续开发建模和校正软件套件,以连接bet365手机版的计量和检测系统与bet365手机版的光刻系统, 利用bet365手机版在两个领域的专业知识.