DUV光刻系统

ASML的深紫外(DUV)光刻系统深入紫外光谱,打印构成微芯片基础的微小特征.

bet365手机版的浸入式系统在生产力方面领先行业, 最先进的逻辑和存储芯片的大批量生产的成像和覆盖性能.

浸入式系统,

浸入式系统是该行业的主力. bet365手机版最新的NXT机器显示了超过6的运行能力,每天一万片, 在过去的12个月里,生产力平均提高了5%, 支持客户的价值需求. bet365手机版继续创新bet365手机版的浸入式系统,以满足未来节点的要求, 从R中的共性中受益&Dbet365手机版的EUV项目, 同时通过系统节点增强包升级确保平台的可扩展性. 由于有了这些包,任何NXT系统都可以升级到最新的技术.

Dry systems

芯片是由许多层层层叠加而成的, 不一定是最新最好的浸入式光刻机用来生产这些层. In a given chip, 可能会有一个或两个更复杂的层是用EUV光刻机制作的, 但其余的通常可以使用“较老的”技术打印,如干式光刻系统. 这对客户来说当然更划算, 因为这些老机器的购买和维护成本较低.

持续的创新

bet365手机版在生产力方面不断创新, bet365手机版TWINSCAN XT产品线的拥有成本和性能(ArF, KrF and i-line), 对于200mm和300mm的晶圆尺寸. 随着3D NAND存储器成为主流, ASML为所有干式系统开发了广泛的选择组合, 能够解决该技术的具体挑战, 包括高地形层堆积和晶圆翘曲, among others.

 

In 2016, 得益于物联网的强劲增长, 汽车和工业市场, bet365手机版介绍了200毫米版本的TWINSCAN XT扫描仪, 这不仅有助于增加客户晶圆厂的产量, 但也用于取代现有200毫米晶圆厂的老化光刻设备.

ASML洁净室组装