晶圆片暴露在ASML EUV光刻机内

光刻技术原则

光刻的基础知识,芯片制造过程中的关键步骤

微芯片是由复杂的晶体管组成的, 一层一层地, 在硅片上. 阿斯麦的光刻系统是这一过程的核心.

光刻(更正式的说法是“光刻”)系统本质上是一个投影系统. 光线通过将被打印的图案的蓝图投射(称为“掩模”或“十字线”).

用光编码的图案, 该系统的光学系统收缩并聚焦图案到光敏硅片上. 在图案打印出来之后, 系统轻轻地移动晶圆,并在晶圆上复制另一个副本.

芯片背后的科学

镜头 & 镜子

bet365手机版的光刻机中复杂的光学系统将要打印在晶圆上的图像减少到纳米级别.

力学 & 机电一体化

bet365手机版的光刻机是世界上最先进的, 精密工程机械和机电一体化系统.